• 光谱仪特征:平场掠入射光谱仪
• 灵活选择探测器:X射线CCD相机或MCP/低噪声CMOS相机系统
• 支持模块化设计匹配不同的实验场景
• 狭缝对于信噪比的优化:狭缝的特殊支持和可变的滤波单元
• 平场掠入射光谱仪
• 波长范围:极紫外(XUV)光栅 5~90nm,软X射线(SXR)光栅1~20nm
• 探测器的灵活选择:X射线CCD摄像机或 MCP / 低噪声CMOS摄像机系统
• 工作压力<10-6mbar,可选配用于独立真空操作的无油泵系统
• 可根据用户要求定制
SXR+光栅 | SXR 光栅 | XUV 光栅 | ||||
波长,nm | 1-5 | 1-20 | 5-90 | |||
操作模式 | 狭缝 | 无缝 | 无缝 | |||
光源距离,m | 灵活 | 灵活 | 灵活 | |||
波长,nm | 1-5 | 1-10 | 5-20 | 5-30 | 25-60 | 30-90 |
平面场尺寸,nm | 60 | 90 | 90 | 90 | 85 | 110 |
色散,nm/mm | 0.06 | 0.07-0.15 | 0.11-0.21 | 0.23-0.38 | 0.33-0.52 | 0.38-0.68 |
分辨率,nm | <0.001 | <0.005 | <0.008 | <0.015 | <0.021 | <0.026 |
* 其他配置(光谱范围,狭缝操作等等)可根据要求提供
光谱测量
下图用highLIGHT SXR+在2.88nm(430eV,过渡1s2-1s2p)处对nitrogen谱线进行发射光谱测量。半高全宽是CCD相机的1.74像素(13μm像素大小),分辨率为1890。受探测器限制的分辨力是3290。(数据由德国哥廷根激光实验室的K. Mann 博士提供)