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nanoLIGHT XUV光谱仪和光束分析仪
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nanoLIGHT
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显著特征

•  轻松集成快速切换工作模式和光路

•  CF200真空法兰

•  同时记录10-80nm范围的光谱范围

•  集成光谱滤光片

•  使用MCP检测而产生的大动态范围

•  单光子计数级别的灵敏度

•  高度集成的产品结构(16x17cm²)


技术规格


极紫外光栅

其他光栅

光谱模式

波长 [nm]

10 - 80

根据要求

分辨率[nm]

0.13 - 0.25

光栅效率

~20%

MCP 效率

~20%

光束分析模式

分辨率[um]

100


* 其他配置(光谱范围,等)根据要求定制


光栅效率

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